Трисилан
Translation of "трисилан" into English
трисилан
Nounтрисилан
трисилана
трисилану
трисиланом
трисилане
Трисилан используется в химической промышленности.
Trisilane is used in the chemical industry.
Definitions
трисилан
NounБесцветный горючий газ (гидрид кремния, Si3H8), применяемый в полупроводниковой промышленности для осаждения тонких плёнок кремния.
Трисилан используется в установках химического осаждения из газовой фазы для создания кремниевых слоёв.